|
| Τροποποιημένο: | 1 κομμάτι |
| τιμή: | US $ 15/PC |
| Τυπική συσκευασία: | Κύλινδρο/Θάλασσα |
| Περίοδος παράδοσης: | 15 ημέρες |
| Μέθοδος πληρωμής: | Λ/Κ, Τ/Τ |
| Ικανότητα εφοδιασμού: | 200 τόνοι/έτος |
Το εξάφθοριο του βολφραμίνου (WF6) είναι μια χημική ένωση που αποτελείται από ένα άτομο βολφραμίνου και έξι άτομα φθορίου.Το εξάφθοριο του βολφραμίου είναι πολύ αντιδραστικό και μπορεί να αντιδράσει βίαια με νερό ή υγρασία στον αέρα, απελευθερώνοντας τοξικό αέριο φθοριούχου υδρογόνου.
Οι εφαρμογές του ηξαφθοριούχου του βολφραμίου περιλαμβάνουν τη χρήση του ως πρόδρομου για την κατάθεση ταινιών βολφραμίου σε διεργασίες κατασκευής ημιαγωγών.Χρησιμοποιείται συνήθως σε τεχνικές χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) για τη δημιουργία λεπτών ταινιών βολφραμίου για διάφορες εφαρμογέςΤο εξάφθοριο του βολφραμίνου είναι προτιμώμενο σε αυτές τις διεργασίες λόγω της υψηλής πίεσης ατμού του, η οποία επιτρέπει την αποτελεσματική εναπόθεση.
Ωστόσο, είναι σημαντικό να χειρίζεται και να αποθηκεύει το εξάφθοριούχο βολφραμίου με προσοχή λόγω της αντιδραστικότητας και της τοξικότητάς του.συμπεριλαμβανομένης της χρήσης κατάλληλου εξοπλισμού προστασίας και διαδικασιών χειρισμού, θα πρέπει να τηρούνται κατά την εργασία με αυτή την ένωση.
| Στοιχεία δοκιμής | Μονάδες | Απαιτήσεις ποιότητας | Αποτελέσματα δοκιμών |
| CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| Οξυγόνο | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
| CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Αλ | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Ως | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Β | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Σχεδόν | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
| Επικεφαλής | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
| Αρ | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Φε | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
| Κ | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
| Μ | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Να. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
| Της | ppb | ≤0.1 | < 0.001 |
| Τι | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Λι | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Ο | ppb | ≤0.05 | < 0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Ναι. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Π | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
| Αιθυλενογόνο | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Νι | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
| Κου | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
| Μo | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Συνολικές προσμείξεις άλλων μετάλλων | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
|
|
| Τροποποιημένο: | 1 κομμάτι |
| τιμή: | US $ 15/PC |
| Τυπική συσκευασία: | Κύλινδρο/Θάλασσα |
| Περίοδος παράδοσης: | 15 ημέρες |
| Μέθοδος πληρωμής: | Λ/Κ, Τ/Τ |
| Ικανότητα εφοδιασμού: | 200 τόνοι/έτος |
Το εξάφθοριο του βολφραμίνου (WF6) είναι μια χημική ένωση που αποτελείται από ένα άτομο βολφραμίνου και έξι άτομα φθορίου.Το εξάφθοριο του βολφραμίου είναι πολύ αντιδραστικό και μπορεί να αντιδράσει βίαια με νερό ή υγρασία στον αέρα, απελευθερώνοντας τοξικό αέριο φθοριούχου υδρογόνου.
Οι εφαρμογές του ηξαφθοριούχου του βολφραμίου περιλαμβάνουν τη χρήση του ως πρόδρομου για την κατάθεση ταινιών βολφραμίου σε διεργασίες κατασκευής ημιαγωγών.Χρησιμοποιείται συνήθως σε τεχνικές χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) για τη δημιουργία λεπτών ταινιών βολφραμίου για διάφορες εφαρμογέςΤο εξάφθοριο του βολφραμίνου είναι προτιμώμενο σε αυτές τις διεργασίες λόγω της υψηλής πίεσης ατμού του, η οποία επιτρέπει την αποτελεσματική εναπόθεση.
Ωστόσο, είναι σημαντικό να χειρίζεται και να αποθηκεύει το εξάφθοριούχο βολφραμίου με προσοχή λόγω της αντιδραστικότητας και της τοξικότητάς του.συμπεριλαμβανομένης της χρήσης κατάλληλου εξοπλισμού προστασίας και διαδικασιών χειρισμού, θα πρέπει να τηρούνται κατά την εργασία με αυτή την ένωση.
| Στοιχεία δοκιμής | Μονάδες | Απαιτήσεις ποιότητας | Αποτελέσματα δοκιμών |
| CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| Οξυγόνο | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
| CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Αλ | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Ως | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Β | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Σχεδόν | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
| Επικεφαλής | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
| Αρ | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Φε | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
| Κ | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
| Μ | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Να. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
| Της | ppb | ≤0.1 | < 0.001 |
| Τι | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Λι | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Ο | ppb | ≤0.05 | < 0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Ναι. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Π | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
| Αιθυλενογόνο | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Νι | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
| Κου | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
| Μo | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Συνολικές προσμείξεις άλλων μετάλλων | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
