|
| Τροποποιημένο: | 1 κομμάτι |
| τιμή: | US $ 15/PC |
| Τυπική συσκευασία: | Κύλινδρο/Θάλασσα |
| Περίοδος παράδοσης: | 15 ΗΜΕΡΕΣ |
| Μέθοδος πληρωμής: | Λ/Κ, Τ/Τ |
| Ικανότητα εφοδιασμού: | 200 τόνοι/έτος |
Το έξαφθοριούχο αέριο του βολφραμίνου, επίσης γνωστό ως WF6, είναι μια χημική ένωση που αποτελείται από ένα άτομο βολφραμίνου και έξι άτομα φθορίου.Το εξάφθοριο του βολφραμίου χρησιμοποιείται κυρίως στη βιομηχανία ημιαγωγών για την εναπόθεση λεπτών ταινιών βολφραμίου κατά την κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και άλλων ηλεκτρονικών συσκευών.
Παρακάτω παρατίθενται μερικά βασικά σημεία σχετικά με το έξαφθοριούχο αέριο του βολφραμίνου:
Αποθήκευση ταινιών βολφραμίου: Το εξάφθοριο βολφραμίου χρησιμοποιείται ευρέως ως πρόδρομο αέριο σε διεργασίες χημικής αποθήκευσης ατμών (CVD) για την κατάθεση λεπτών ταινιών βολφραμίου.Αυτά τα φύλλα χρησιμεύουν ως αγωγικά στρώματα στην κατασκευή μικροηλεκτρονικών συσκευών, όπως τρανζίστορες, διασυνδέσεις και ηλεκτρόδια πύλης.
Υψηλή καθαρότητα και σταθερότητα: Το αέριο WF6 είναι συνήθως διαθέσιμο σε υψηλής καθαρότητας για να εξασφαλιστεί η ποιότητα και η ακεραιότητα των αποθεματισμένων ταινιών βολφραμίου.που επιτρέπουν την ελεγχόμενη και ομοιόμορφη ανάπτυξη της ταινίας υπό ειδικές συνθήκες διαδικασίας.
Διαδικασία CVD: Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας CVD, το αέριο εξάφθοριούχο βολφραμίου εισάγεται σε ένα θάλαμο εναπόθεσης μαζί με έναν αντιδραστήρα μείωσης, όπως το αέριο υδρογόνου.Τα μόρια WF6 αποσυντίθενται σε υψηλές θερμοκρασίες, αποθέτοντας τα άτομα του βολφραμίου στην επιφάνεια του υποστρώματος με ελεγχόμενο τρόπο.
Προσοχή για την ασφάλεια: Το εξάφθοριο του βολφραμίνου είναι ένα πολύ τοξικό και διαβρωτικό αέριο, το οποίο απαιτεί προσεκτικό χειρισμό και αποθήκευση.Τα κατάλληλα μέτρα ασφαλείας, συμπεριλαμβανομένης της χρήσης ειδικού εξοπλισμού και προστατευτικού εξοπλισμού, είναι απαραίτητες κατά την εργασία με το WF6.
Περιβαλλοντική επίδραση: Όπως και άλλες φθοριούχες ενώσεις, το εξάφθοριδιο του βολφραμίνου έχει τη δυνατότητα να συμβάλει σε περιβαλλοντικά προβλήματα.Για να αποφευχθεί η απελευθέρωσή του στο περιβάλλον, απαιτούνται προσεκτικές πρακτικές διαχείρισης και απόρριψης.
Είναι σημαντικό να σημειωθεί ότι το υδροχλωροφθοράντιο του βολφραμίου χρησιμοποιείται κατά κύριο λόγο σε βιομηχανικές και εξειδικευμένες εφαρμογές και ότι η χειρισμός του απαιτεί εμπειρογνωμοσύνη και τήρηση των πρωτοκόλλων ασφαλείας.
| Στοιχεία δοκιμής | Μονάδες | Απαιτήσεις ποιότητας | Αποτελέσματα δοκιμών |
| CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| Οξυγόνο | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
| CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Αλ | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Ως | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Β | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Σχεδόν | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
| Επικεφαλής | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
| Αρ | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Φε | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
| Κ | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
| Μ | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Να. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
| Της | ppb | ≤0.1 | < 0.001 |
| Τι | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Λι | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Ο | ppb | ≤0.05 | < 0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Ναι. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Π | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
| Αιθυλενογόνο | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Νι | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
| Κου | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
| Μo | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Συνολικές προσμείξεις άλλων μετάλλων | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
|
|
| Τροποποιημένο: | 1 κομμάτι |
| τιμή: | US $ 15/PC |
| Τυπική συσκευασία: | Κύλινδρο/Θάλασσα |
| Περίοδος παράδοσης: | 15 ΗΜΕΡΕΣ |
| Μέθοδος πληρωμής: | Λ/Κ, Τ/Τ |
| Ικανότητα εφοδιασμού: | 200 τόνοι/έτος |
Το έξαφθοριούχο αέριο του βολφραμίνου, επίσης γνωστό ως WF6, είναι μια χημική ένωση που αποτελείται από ένα άτομο βολφραμίνου και έξι άτομα φθορίου.Το εξάφθοριο του βολφραμίου χρησιμοποιείται κυρίως στη βιομηχανία ημιαγωγών για την εναπόθεση λεπτών ταινιών βολφραμίου κατά την κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και άλλων ηλεκτρονικών συσκευών.
Παρακάτω παρατίθενται μερικά βασικά σημεία σχετικά με το έξαφθοριούχο αέριο του βολφραμίνου:
Αποθήκευση ταινιών βολφραμίου: Το εξάφθοριο βολφραμίου χρησιμοποιείται ευρέως ως πρόδρομο αέριο σε διεργασίες χημικής αποθήκευσης ατμών (CVD) για την κατάθεση λεπτών ταινιών βολφραμίου.Αυτά τα φύλλα χρησιμεύουν ως αγωγικά στρώματα στην κατασκευή μικροηλεκτρονικών συσκευών, όπως τρανζίστορες, διασυνδέσεις και ηλεκτρόδια πύλης.
Υψηλή καθαρότητα και σταθερότητα: Το αέριο WF6 είναι συνήθως διαθέσιμο σε υψηλής καθαρότητας για να εξασφαλιστεί η ποιότητα και η ακεραιότητα των αποθεματισμένων ταινιών βολφραμίου.που επιτρέπουν την ελεγχόμενη και ομοιόμορφη ανάπτυξη της ταινίας υπό ειδικές συνθήκες διαδικασίας.
Διαδικασία CVD: Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας CVD, το αέριο εξάφθοριούχο βολφραμίου εισάγεται σε ένα θάλαμο εναπόθεσης μαζί με έναν αντιδραστήρα μείωσης, όπως το αέριο υδρογόνου.Τα μόρια WF6 αποσυντίθενται σε υψηλές θερμοκρασίες, αποθέτοντας τα άτομα του βολφραμίου στην επιφάνεια του υποστρώματος με ελεγχόμενο τρόπο.
Προσοχή για την ασφάλεια: Το εξάφθοριο του βολφραμίνου είναι ένα πολύ τοξικό και διαβρωτικό αέριο, το οποίο απαιτεί προσεκτικό χειρισμό και αποθήκευση.Τα κατάλληλα μέτρα ασφαλείας, συμπεριλαμβανομένης της χρήσης ειδικού εξοπλισμού και προστατευτικού εξοπλισμού, είναι απαραίτητες κατά την εργασία με το WF6.
Περιβαλλοντική επίδραση: Όπως και άλλες φθοριούχες ενώσεις, το εξάφθοριδιο του βολφραμίνου έχει τη δυνατότητα να συμβάλει σε περιβαλλοντικά προβλήματα.Για να αποφευχθεί η απελευθέρωσή του στο περιβάλλον, απαιτούνται προσεκτικές πρακτικές διαχείρισης και απόρριψης.
Είναι σημαντικό να σημειωθεί ότι το υδροχλωροφθοράντιο του βολφραμίου χρησιμοποιείται κατά κύριο λόγο σε βιομηχανικές και εξειδικευμένες εφαρμογές και ότι η χειρισμός του απαιτεί εμπειρογνωμοσύνη και τήρηση των πρωτοκόλλων ασφαλείας.
| Στοιχεία δοκιμής | Μονάδες | Απαιτήσεις ποιότητας | Αποτελέσματα δοκιμών |
| CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| Οξυγόνο | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
| CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Αλ | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Ως | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Β | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Σχεδόν | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
| Επικεφαλής | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
| Αρ | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Φε | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
| Κ | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
| Μ | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Να. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
| Της | ppb | ≤0.1 | < 0.001 |
| Τι | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Λι | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Ο | ppb | ≤0.05 | < 0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Ναι. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Π | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
| Αιθυλενογόνο | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Νι | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
| Κου | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
| Μo | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Συνολικές προσμείξεις άλλων μετάλλων | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
