Τροποποιημένο: | 1 χιλιόγραμμα |
τιμή: | US $60/kg |
Τυπική συσκευασία: | Κύλινδρο/Θάλασσα |
Περίοδος παράδοσης: | 15 ΗΜΕΡΕΣ |
Μέθοδος πληρωμής: | Λ/Κ, Τ/Τ |
Ικανότητα εφοδιασμού: | 20000 τόνοι/έτος |
Το τριφθορίδιο του αζώτου (NF3) είναι μια χημική ένωση που αποτελείται από ένα άτομο αζώτου και τρία άτομα φθορίου.Εδώ είναι μερικά βασικά σημεία σχετικά με το τριφθοριούχο άζωτο:
Παραγωγή: Το NF3 μπορεί να παραχθεί από την αντίδραση της αμμωνίας (NH3) με το αέριο φθόριο (F2).σε υψηλές θερμοκρασίες.
Ιδιότητες: Το NF3 είναι σταθερό αέριο σε θερμοκρασία δωματίου και πίεση. Έχει σημείο βρασμού -129 °C (-204 °F) και σημείο τήξης -206 °C (-339 °F).Αλλά μπορεί να υποστηρίξει την καύση.Το NF3 είναι διαλυτό στο νερό και σε ορισμένους οργανικούς διαλύτες.
Χρησιμοποιήσεις: Η κύρια χρήση του τριφθοριούχου αζώτου είναι ως καθαριστικό μέσο για την αφαίρεση των αποθέσεων λεπτών ταινιών στη βιομηχανία ημιαγωγών.Χρησιμοποιείται συνήθως για τον καθαρισμό εξοπλισμού όπως θαλάμους χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD)Το NF3 προτιμάται για την εφαρμογή αυτή λόγω της υψηλής επιλεκτικότητας της χαρακτικής και της χαμηλής αντιδραστικότητας με το πυρίτιο.
Περιβαλλοντική επίδραση: Το NF3 είναι ένα ισχυρό αέριο θερμοκηπίου με υψηλό δυναμικό υπερθέρμανσης του πλανήτη (GWP).Αν και η ατμοσφαιρική συγκέντρωσή του είναι σχετικά χαμηλή σε σύγκριση με άλλα αέρια του θερμοκηπίου, η μακρά ατμοσφαιρική διάρκεια ζωής του συμβάλλει σημαντικά στην επίπτωσή του στην υπερθέρμανση του πλανήτη.
Προσοχή για την ασφάλεια: Το τριφθοριούχο άζωτο μπορεί να είναι επικίνδυνο όταν χειρίζεται λανθασμένα ή απελευθερώνεται σε μεγάλες ποσότητες.Το αέριο NF3 είναι επίσης ερεθιστικό για το αναπνευστικό σύστημα και μπορεί να προκαλέσει ερεθισμό των ματιών και του δέρματοςΠρέπει να τηρούνται κατάλληλες προφυλάξεις ασφαλείας, συμπεριλαμβανομένης της επαρκούς εξαερισμού και του προσωπικού εξοπλισμού προστασίας, κατά την εργασία με το NF3.
- Δεν ξέρω.
Βασικές πληροφορίες.
Μοριακό βάρος | 147.05 | Σφιχτότητα | 2.96Kg/m3 |
Σημείο τήξης | -206,79 oC | Σημείο βρασμού | -129,0 oC |
Εμφάνιση | Χωρίς χρώμα, χωρίς μυρωδιά. | Όχι, όχι. | 2451 |
Τάξη DOT | 2.2 και 5.1 | Κύλινδρο | Διαχωρισμός640 |
Πρότυπο κυλίνδρων | GB/ISO/DOT | Πίεση κυλίνδρου | 15Mpa/20Mpa |
Πακέτο μεταφοράς | 47L/440L | Προδιαγραφές | 990,99%,990,996% |
Εμπορικό σήμα | CMC | Καταγωγή | Κίνα |
Κωδικός ΕΣ | 28129011 | Κατανάλωση | 5000 τόνους/έτος |
Ειδικότητα:
Προδιαγραφές | Πρότυπο εταιρείας |
NF3 | ≥ 99,996% |
CF4 | ≤20 ppm |
N2 | ≤5 ppm |
Ο2+AR | ≤3 ppm |
CO | ≤1 ppm |
CO2 | ≤0.5 ppm |
N2O | ≤1 ppm |
SF6 | ≤2 ppm |
Υγρασία | ≤1 ppm |
Εκφράζεται ως HF | ≤1 ppm |
Λεπτομερή φωτογραφία
Τροποποιημένο: | 1 χιλιόγραμμα |
τιμή: | US $60/kg |
Τυπική συσκευασία: | Κύλινδρο/Θάλασσα |
Περίοδος παράδοσης: | 15 ΗΜΕΡΕΣ |
Μέθοδος πληρωμής: | Λ/Κ, Τ/Τ |
Ικανότητα εφοδιασμού: | 20000 τόνοι/έτος |
Το τριφθορίδιο του αζώτου (NF3) είναι μια χημική ένωση που αποτελείται από ένα άτομο αζώτου και τρία άτομα φθορίου.Εδώ είναι μερικά βασικά σημεία σχετικά με το τριφθοριούχο άζωτο:
Παραγωγή: Το NF3 μπορεί να παραχθεί από την αντίδραση της αμμωνίας (NH3) με το αέριο φθόριο (F2).σε υψηλές θερμοκρασίες.
Ιδιότητες: Το NF3 είναι σταθερό αέριο σε θερμοκρασία δωματίου και πίεση. Έχει σημείο βρασμού -129 °C (-204 °F) και σημείο τήξης -206 °C (-339 °F).Αλλά μπορεί να υποστηρίξει την καύση.Το NF3 είναι διαλυτό στο νερό και σε ορισμένους οργανικούς διαλύτες.
Χρησιμοποιήσεις: Η κύρια χρήση του τριφθοριούχου αζώτου είναι ως καθαριστικό μέσο για την αφαίρεση των αποθέσεων λεπτών ταινιών στη βιομηχανία ημιαγωγών.Χρησιμοποιείται συνήθως για τον καθαρισμό εξοπλισμού όπως θαλάμους χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD)Το NF3 προτιμάται για την εφαρμογή αυτή λόγω της υψηλής επιλεκτικότητας της χαρακτικής και της χαμηλής αντιδραστικότητας με το πυρίτιο.
Περιβαλλοντική επίδραση: Το NF3 είναι ένα ισχυρό αέριο θερμοκηπίου με υψηλό δυναμικό υπερθέρμανσης του πλανήτη (GWP).Αν και η ατμοσφαιρική συγκέντρωσή του είναι σχετικά χαμηλή σε σύγκριση με άλλα αέρια του θερμοκηπίου, η μακρά ατμοσφαιρική διάρκεια ζωής του συμβάλλει σημαντικά στην επίπτωσή του στην υπερθέρμανση του πλανήτη.
Προσοχή για την ασφάλεια: Το τριφθοριούχο άζωτο μπορεί να είναι επικίνδυνο όταν χειρίζεται λανθασμένα ή απελευθερώνεται σε μεγάλες ποσότητες.Το αέριο NF3 είναι επίσης ερεθιστικό για το αναπνευστικό σύστημα και μπορεί να προκαλέσει ερεθισμό των ματιών και του δέρματοςΠρέπει να τηρούνται κατάλληλες προφυλάξεις ασφαλείας, συμπεριλαμβανομένης της επαρκούς εξαερισμού και του προσωπικού εξοπλισμού προστασίας, κατά την εργασία με το NF3.
- Δεν ξέρω.
Βασικές πληροφορίες.
Μοριακό βάρος | 147.05 | Σφιχτότητα | 2.96Kg/m3 |
Σημείο τήξης | -206,79 oC | Σημείο βρασμού | -129,0 oC |
Εμφάνιση | Χωρίς χρώμα, χωρίς μυρωδιά. | Όχι, όχι. | 2451 |
Τάξη DOT | 2.2 και 5.1 | Κύλινδρο | Διαχωρισμός640 |
Πρότυπο κυλίνδρων | GB/ISO/DOT | Πίεση κυλίνδρου | 15Mpa/20Mpa |
Πακέτο μεταφοράς | 47L/440L | Προδιαγραφές | 990,99%,990,996% |
Εμπορικό σήμα | CMC | Καταγωγή | Κίνα |
Κωδικός ΕΣ | 28129011 | Κατανάλωση | 5000 τόνους/έτος |
Ειδικότητα:
Προδιαγραφές | Πρότυπο εταιρείας |
NF3 | ≥ 99,996% |
CF4 | ≤20 ppm |
N2 | ≤5 ppm |
Ο2+AR | ≤3 ppm |
CO | ≤1 ppm |
CO2 | ≤0.5 ppm |
N2O | ≤1 ppm |
SF6 | ≤2 ppm |
Υγρασία | ≤1 ppm |
Εκφράζεται ως HF | ≤1 ppm |
Λεπτομερή φωτογραφία