Τροποποιημένο: | 1 κομμάτι |
τιμή: | US $ 15/PC |
Τυπική συσκευασία: | Κύλινδρο/Θάλασσα |
Περίοδος παράδοσης: | 15 ημέρες |
Μέθοδος πληρωμής: | Λ/Κ, Τ/Τ |
Ικανότητα εφοδιασμού: | 200 τόνοι/έτος |
Το εξάφθοριο του βολφραμίνου (WF6) είναι μια χημική ένωση που αποτελείται από άτομα βολφραμίνου και φθορίου.Είναι ένα άχρωμο αέριο σε θερμοκρασία δωματίου και χρησιμοποιείται κυρίως στη βιομηχανία ημιαγωγών για τη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) για την εναπόθεση λεπτών ταινιών βολφραμίου.
Παρακάτω παρατίθενται μερικά βασικά σημεία σχετικά με το ηξαφθοριούχο αέριο του βολφραμίου:
Βασικές πληροφορίες.
Σχήμα αριθ. | WF6 | Πακέτο μεταφοράς | Κύλινδρο |
Προδιαγραφές | 10L/15kg | Εμπορικό σήμα | CMC |
Καταγωγή | Σουζού, Κίνα | Κωδικός ΕΣ | 2812190091 |
Κατανάλωση | 200 τόνους/έτος |
Στοιχεία δοκιμής | Μονάδες | Απαιτήσεις ποιότητας | Αποτελέσματα δοκιμών |
CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
Οξυγόνο | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
HF | ppm | < 5 | 0.19 |
Αλ | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Ως | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
Β | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
Σχεδόν | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
Επικεφαλής | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
Αρ | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Φε | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
Κ | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
Μ | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
Να. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
Της | ppb | ≤0.1 | < 0.001 |
Τι | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
Λι | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
Ο | ppb | ≤0.05 | < 0.001 |
Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
Ναι. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
Π | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
Αιθυλενογόνο | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Νι | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
Κου | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
Μo | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
Συνολικές προσμείξεις άλλων μετάλλων | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
Τροποποιημένο: | 1 κομμάτι |
τιμή: | US $ 15/PC |
Τυπική συσκευασία: | Κύλινδρο/Θάλασσα |
Περίοδος παράδοσης: | 15 ημέρες |
Μέθοδος πληρωμής: | Λ/Κ, Τ/Τ |
Ικανότητα εφοδιασμού: | 200 τόνοι/έτος |
Το εξάφθοριο του βολφραμίνου (WF6) είναι μια χημική ένωση που αποτελείται από άτομα βολφραμίνου και φθορίου.Είναι ένα άχρωμο αέριο σε θερμοκρασία δωματίου και χρησιμοποιείται κυρίως στη βιομηχανία ημιαγωγών για τη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) για την εναπόθεση λεπτών ταινιών βολφραμίου.
Παρακάτω παρατίθενται μερικά βασικά σημεία σχετικά με το ηξαφθοριούχο αέριο του βολφραμίου:
Βασικές πληροφορίες.
Σχήμα αριθ. | WF6 | Πακέτο μεταφοράς | Κύλινδρο |
Προδιαγραφές | 10L/15kg | Εμπορικό σήμα | CMC |
Καταγωγή | Σουζού, Κίνα | Κωδικός ΕΣ | 2812190091 |
Κατανάλωση | 200 τόνους/έτος |
Στοιχεία δοκιμής | Μονάδες | Απαιτήσεις ποιότητας | Αποτελέσματα δοκιμών |
CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
Οξυγόνο | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
HF | ppm | < 5 | 0.19 |
Αλ | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Ως | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
Β | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
Σχεδόν | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
Επικεφαλής | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
Αρ | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Φε | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
Κ | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
Μ | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
Να. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
Της | ppb | ≤0.1 | < 0.001 |
Τι | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
Λι | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
Ο | ppb | ≤0.05 | < 0.001 |
Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
Ναι. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
Π | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
Αιθυλενογόνο | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Νι | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
Κου | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
Μo | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
Συνολικές προσμείξεις άλλων μετάλλων | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |